表面粗糙度是影響表面的物理和化學性能的重要因素。研究表面粗糙度有重要的理論意義和應用價值。目前已民用工業許多種量化表示表面粗糙度的方法。最常用的是RMS。但近年來發現許多表面的標度不變的復雜結構，RMS粗糙度不能有效地描述這種特點。在非平衡態下生長的薄膜預期是一個自仿射分的表面，它的RMS粗糙度δ隨薄膜生長時間t和x,y基底的水平取樣長度L有以下關系：δ（L，t)=Lαf(t/Lα/β）