1 萃取壓力的影響 萃取壓力是SFE最重要的參數之一，萃取溫度一定時，壓力增大，流體密度增大，溶劑強度增強，溶劑的溶解度就增大。對于不同的物質，其萃取壓力有很大的不同。
2 萃取溫度的影響 溫度對超臨界流體溶解能力影響比較復雜，在一定壓力下，升高溫度被萃取物揮發性增加，這樣就增加了被萃取物在超臨界氣相中的濃度，從而使萃取量增大；但另一方面，溫度升高，超臨界流體密度降低，從而使化學組分溶解度減小，導致萃取數減少。因此，在選擇萃取溫度時要綜合這兩個因素考慮。
3 萃取顆粒大小 粒度大小可影響提取回收率，減小樣品粒度，可增加固體與溶劑的接觸面積，從而使萃取速度提高。不過，粒度如過小、過細，不僅會嚴重堵塞篩孔，造成萃取器出口過濾網的堵塞。
4 CO2的流量 CO2的流量的變化對超臨界萃取有兩個方面的影響。CO2的流量太大，會造成萃取器內CO2流速增加，CO2停留時間縮短，與被萃取物接觸時間減少，不利于萃取率的提高。但另一方面，CO2的流量增加，可增大萃取過程的傳質推動力，相應地增大傳質系數，使傳質速率加快，從而提高SFE的萃取能力。因此，合理選擇CO2的流量在SFE中也相當重要。
5 夾帶劑的選擇 對于極性較大的溶質，在超臨界CO2中溶解較差，SFE很難萃取出來，但若加入一定的夾帶劑，以改變溶劑的活性，在一定條件下，就可以萃取出來，而且萃取條件會更低，萃取率更高。常用的夾帶劑有甲醇、氯仿等。夾帶劑的種類可根據萃取組分的性質來選擇，加入的量一般通過實驗來確定。